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光譜共焦傳感器用于薄膜厚度測量

通常情況下,薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離,而實際上,薄膜的表面是不平整,不連續(xù)的,且薄膜內(nèi)部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三類:形狀厚度,質(zhì)量厚度,物性厚度。




工業(yè)生產(chǎn)的薄膜,其厚度是一個重要的參數(shù)。隨著科技的進步和精密儀器的應(yīng)用,薄膜厚度的測量方法有很多,按照測量的方式分可以分為兩類:直接測量和間接測量。


使用光譜共焦傳感器,利用光學(xué)的方法,非接觸式地測量薄膜的厚度。在檢測過程中,白光可以直接穿透,取兩個波峰頂點的中間段的值,即為薄膜的厚度。


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